Waferlevel Hermetizitätstest für Drucksensoren
- Georg Elsinger*
- , Sokratis Sgouridis
- , Anton Tuma
- , Elmar Aschauer
- , Harald Plank
*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in einem Konferenzband › Begutachtung